“单片晶圆光刻后,晶体的温度达到了80度。”
“再高一些,这个误差就无法软件纠正了。”
孔连华郁闷地说道。
江奕辰摆手,“增设一个降温系统即可,准备一个类似双工件台的设备,在每次光刻一个晶圆后,镓镁晶体同步撤出散热,换新的晶体上。”
张成在旁边看着抚掌赞叹,“对啊,既然改都改了,咱们改得更合适一些就行了。”
孔连华点头应是,“这倒是,看起来我们可以给这个技术取个名字了。”
“就叫改良型非接触式193nm光刻机。”
江奕辰直接定下了名字。
他可不想随便把这个技术透露出去。
哪怕是使用的是什么样的晶体。
至于制备技术,那就更是机密中的机密。
江奕辰与这些人全部都签订了最严格的保密协议。
以确保技术不会外泄。
不过想想也比较困难,因为关键的技术江奕辰、孔连华亲自掌握的。
只要两人不外透,就不存在外泄的问题。
孔连华又建议道,“不过,193nm的光刻机,咱们想搞掉也不容易。”
“多研究研究,买不到,我们自己造,造出适合我们使用的,造出更适应未来芯片的光刻机,”江奕辰给众人打气。
光刻机自然是顶尖的技术,但一定会有取下的那么一天。
实验通过,一些小问题,在江奕辰的提醒下,孔连华和张成立马准备修改。
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在一旁观摩的黄小婷更是高兴得不得了。
“太好了,江总,那我们辰芯微自己的生产线就可以造28nm芯片了!”
“再也不用看台鸡电的脸色了。”
黄小婷跟那边对接过,需要排队不说,要是没有一些表示,或是关系,那就更难了。
江奕辰看着眼前的生产线,出了车间,“继续买光刻机,争取买到3台193nm干式光刻机,把生产线再扩充2条。”
“如今的镓镁晶体带来的技术提升,可以让我们往更高的芯片制程前进,接下来你们的工作就是改进和优化工艺制程。”
“特别是多重曝光和鳍式场效应晶体管FinFET技术。”
这两个技术,是有难度,但并非像是光刻机那样困难。
更多是工艺工程师提升制造工艺。
这就需要不断的经验积累以及工艺改进。
黄小婷顿时感觉压力满满,“江总,193nm干式光刻机,阿斯麦还是能买到的,就是新的需要钱,还得排队等。”
“我建议买二手的,先把线建起来。同时慢慢地排队。”
“可以。”江奕辰直接就同意了下来。
“可,这样下来,得花不少钱。”黄小婷有些纠结。
“买光刻机不要怕花钱,造个预算,把条子报过来。”江奕辰摆手离开,“钱不是你要考虑的,你要考虑的是花多少时间,把辰芯微做成华国,甚至世界第一的芯片制造公司。”
……
学习百倍暴击,我从此天下无敌三月天