了一个被行业内集体头疼的问题——要知道,光源的技术一直都领先于光刻机整机本身的技术。而光源的理论,更是早在光源造出来之前的数年、数十年就奠定了下来。
但真当实现了193nm的Arf光源,开始研究下一代光源后,大家才发现这难度不是一般的大。
——都逼得灯塔国那边搞EUV联盟,直接跳过152,走极紫外路线了,你说难度大不大?
苏远山现在告诉他,有突破193nm的方案!
那岂不是……
“你说的是真的?”郑振川盯着苏远山:“你别骗我,我认识一大帮搞光源的——我回头就问老赵去。”
苏远山哭笑不得:“你问他也没用,保密的。”
“郑叔,所以别着急。双工件台,如果只用在国产光刻机上,只是算是锦上添花。当我们真正超越193nm的时候,才是国产光刻机拥有核心竞争力的时候。”
郑振川半信半疑地看着苏远山,最终还是点了点头。
随后,他便和苏远山一起望向曲慧。
感受到两人的目光,曲慧突然觉得这两人的视线重逾千斤。
“意思是,全部的压力都落在首都精科身上了?”
“不,不是压力。”苏远山微微一笑。
“是希望。”